Intelligente Gassensoren

Projektleitung und Mitarbeiter

Mittelgeber : BMFT

Forschungsbericht : 1994-1996

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

In dem Vorhaben werden strukturierte Labormuster und mikrostrukturierte Prototypen chemischer Gassensoren auf SnO.2-Basis zur Detektion von Gasen wie CO.x, NO.x, CH.4, C.2H.5OH, H.2 und NH.3 in Dünnschichttechnik entwickelt. Der Nachweis der Gase erfolgt durch die Auswertung der Sensorimpedanz. Mehrere unterschiedliche Sensoren werden zu einem Sensorarray zusammengefaßt. Durch Mustererkennungsverfahren soll der quantitative Nachweis von Einzelkomponenten in Gasgemischen erfolgen. Sensorarrays mit Meßwertaufbereitung werden als eine erste Stufe intelligenter Gassensoren verstanden. Entwicklung und Qualifizierung des Produktes erfolgen arbeitsteilig durch Verbundpartner. Als Entwicklungsergebnis ist ein Funktionsmuster eines Sensorarrays mit Auswertungssoftware angestrebt.

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